光學平臺隔振系統(tǒng)的構(gòu)成:光學平臺由上下面板、蜂窩內(nèi)芯和U型清潔艙采用低溫恒溫粘接而成,溫度應(yīng)變小。鋼質(zhì)蜂窩內(nèi)芯采用垂向支撐桁架蜂窩結(jié)構(gòu),U型清潔艙與蜂窩芯六邊形內(nèi)壁相配合內(nèi)嵌在蜂窩孔中,蜂窩孔六邊形板直接粘結(jié)到上面板,U型清潔艙用蜂窩夾層板頂著粘接在上面板,增...
晶圓級半自動面內(nèi)磁場探針臺詳細參數(shù):垂直或面內(nèi)磁場探針臺,通用性設(shè)計;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測試);提供Z軸探針平臺快速升降功能,實現(xiàn)高效測試;磁場強度≥330mT;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行程...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)主要工作可以分為四個部分(1)從波導(dǎo)理論出發(fā),分析了條形波導(dǎo)以及脊型波導(dǎo)的波導(dǎo)模式特性,分析了硅光芯片的良好束光特性。(2)針對倒錐型耦合結(jié)構(gòu),分析在耦合過程中,耦合結(jié)構(gòu)的尺寸對插入損耗,耦合容差的影響,優(yōu)化耦合結(jié)構(gòu)并開發(fā)出行之有效的耦合工...
如何判斷探針卡的好壞:1.可以用扎五點來判斷,即上中下左右,五點是否扎在壓點內(nèi),且針跡清楚,又沒出氧化層,針跡圓而不長且不開叉.2.做接觸檢查,每根針與壓點接觸電阻是否小于0.5歐姆.3.通過看實際測試參數(shù)來判斷,探針與被測IC沒有接觸好,測試值接近于0。總之...
使用脈沖錘對平臺或面包板的表面施加一個已測量的外力,并將一個傳感器貼合在平臺或面包板表面對合成振動進行測量。探測器發(fā)出的信號通過分析儀進行讀取,并用于產(chǎn)生頻率響應(yīng)譜(即柔量曲線)。在光學平臺的研發(fā)過程中,對平臺表面上很多點的柔量曲線進行記錄;但是,平臺四個角上...
組合透鏡耦合在許多光纖耦合系統(tǒng)中,常利用柱透鏡、球透鏡、自聚焦透鏡及錐形透鏡等多種光學元器件相互組合來提高整體的耦合效率。這樣的組合透鏡的組合方式多種多樣。利用組合透鏡這樣一種方法可將耦合效率大幅度提高,但裝配過程中確需要用專屬的精密夾具來做精密的調(diào)整。這樣的...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)中的硅光與芯片的耦合方法及其硅光芯片,方法包括以下步驟:將硅光芯片粘貼固定在基板上,硅光芯片的端面耦合波導(dǎo)為懸臂梁結(jié)構(gòu),具有模斑變換器;通過圖像系統(tǒng),微調(diào)架將光纖端面與耦合波導(dǎo)的模斑變換器耦合對準,固定塊從側(cè)面緊挨光纖并固定在基板上;硅光芯...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)的測試站包含自動硅光芯片耦合測試系統(tǒng)客戶端程序,其程序流程如下:首先向自動耦合臺發(fā)送耦合請求信息,并且信息包括待耦合芯片的通道號,然后根據(jù)自動耦合臺返回的相應(yīng)反饋信息進入自動耦合等待掛起,直到收到自動耦合臺的耦合結(jié)束信息后向服務(wù)器發(fā)送測試請...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)系統(tǒng)的服務(wù)器為完成設(shè)備控制及自動測試應(yīng)包含有自動化硅光芯片耦合測試系統(tǒng)服務(wù)端程序,用于根據(jù)測試站請求信息分配測試設(shè)備,并自動切換光矩陣進行自動測試。服務(wù)器連接N個測試站、測試設(shè)備、光矩陣。其中N個測試站連接由于非占用式特性采用網(wǎng)口連接方式;...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域,公開了光子集成芯片的新型測試系統(tǒng)及方法,包括測試設(shè)備和集成芯片放置設(shè)備,測試設(shè)備包括電耦合測試設(shè)備和光耦合測試設(shè)備中的一種或兩種,電耦合測試設(shè)備和光耦合測試設(shè)備可拆卸安裝在集成芯片放置機構(gòu)四周,電耦合測試設(shè)備包括單探針耦合模...
此在確認硅光芯片耦合測試系統(tǒng)耦合不過的前提下,可依次排除B殼天線、KB板和同軸線等內(nèi)部結(jié)構(gòu)的故障進行維修。若以上一一排除,則是主板參數(shù)校準的問題,或者說是主板硬件存在故障。耦合天線的種類比較多,有塔式、平板式、套筒式,常用的是自動硅光芯片硅光芯片耦合測試系統(tǒng)系...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域,公開了光子集成芯片的新型測試系統(tǒng)及方法,包括測試設(shè)備和集成芯片放置設(shè)備,測試設(shè)備包括電耦合測試設(shè)備和光耦合測試設(shè)備中的一種或兩種,電耦合測試設(shè)備和光耦合測試設(shè)備可拆卸安裝在集成芯片放置機構(gòu)四周,電耦合測試設(shè)備包括單探針耦合模...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)硅光陣列微調(diào)設(shè)備,微調(diào)設(shè)備包括有垂直設(shè)置的第1角度調(diào)節(jié)機構(gòu)與第二角度調(diào)節(jié)機構(gòu),微調(diào)設(shè)備可帶動設(shè)置于微調(diào)設(shè)備上的硅光陣列在垂直的兩個方向?qū)崿F(xiàn)角度微調(diào)。本發(fā)明還提供一種光子芯片測試系統(tǒng)硅光陣列耦合設(shè)備,包括有微調(diào)設(shè)備以及與微調(diào)設(shè)備固定連接的位移...
目前,基于SOI(絕緣體上硅)材料的波導(dǎo)調(diào)制器成為當前的研究熱點,也取得了許多的進展,但在硅光芯片調(diào)制器的產(chǎn)業(yè)化進程中,面臨著一系列的問題,波導(dǎo)芯片與光纖的有效耦合就是難題之一。從懸臂型耦合結(jié)構(gòu)出發(fā),模擬設(shè)計了懸臂型倒錐耦合結(jié)構(gòu),通過開發(fā)相應(yīng)的有效地耦合工藝來...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)的激光器與硅光芯片耦合結(jié)構(gòu)及其封裝結(jié)構(gòu)和封裝方法,發(fā)散的高斯光束從激光器芯片出射,經(jīng)過耦合透鏡進行聚焦;聚焦過程中光路經(jīng)過隔離器進入反射棱鏡,經(jīng)過反射棱鏡的發(fā)射,光路發(fā)生彎折并以一定的角度入射到硅光芯片的光柵耦合器上面,耦合進硅光芯片。本發(fā)...
光學平臺普遍運用于光學、電子、精密機械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無損檢測等領(lǐng)域,以及其他機械行業(yè)的精密試驗儀器、設(shè)備振動隔離的關(guān)鍵裝置中。隨著先進的設(shè)備和工藝的發(fā)展,使納米量級的測量成為可能。例如,變相光學干涉儀測量物體的表面粗糙度,目前可以達到...
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導(dǎo)體測試裝備,在整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要...
光學平臺從功能上分為固定式和可調(diào)式;被動或主動式。光學平臺普遍應(yīng)用于光學、電子、精密機械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無損檢測等領(lǐng)域,以及其他機械行業(yè)的精密試驗儀器、設(shè)備振動隔離的關(guān)鍵裝置中。主要構(gòu)成標準光學平臺基本組件包括:1、頂板;2、底板;3、...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域,公開了光子集成芯片的新型測試系統(tǒng)及方法,包括測試設(shè)備和集成芯片放置設(shè)備,測試設(shè)備包括電耦合測試設(shè)備和光耦合測試設(shè)備中的一種或兩種,電耦合測試設(shè)備和光耦合測試設(shè)備可拆卸安裝在集成芯片放置機構(gòu)四周,電耦合測試設(shè)備包括單探針耦合模...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)組件裝夾完成后,通過校正X,Y和Z方向的偏差來進行的初始光功率耦合,圖像處理軟件能自動測量出各項偏差,然后軟件驅(qū)動運動控制系統(tǒng)和運動平臺來補償偏差,以及給出提示,繼續(xù)手動調(diào)整角度滑臺。當三個器件完成初始定位,同時確認其在Z軸方向的相對位置關(guān)...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域,公開了光子集成芯片的新型測試系統(tǒng)及方法,包括測試設(shè)備和集成芯片放置設(shè)備,測試設(shè)備包括電耦合測試設(shè)備和光耦合測試設(shè)備中的一種或兩種,電耦合測試設(shè)備和光耦合測試設(shè)備可拆卸安裝在集成芯片放置機構(gòu)四周,電耦合測試設(shè)備包括單探針耦合模...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)系統(tǒng)的測試設(shè)備主要是包括可調(diào)激光器、偏振控制器和多通道光功率計,通過光矩陣的光路切換,每一時刻在程序控制下都可以形成一個單獨的測試環(huán)路。光源出光包含兩個設(shè)備,調(diào)光過程使用ASE寬光源,以保證光路通過光芯片后總是出光,ASE光源輸出端接入1*...
目前精密光學儀器產(chǎn)品種類繁多,是為了在重復(fù)測量過程中對產(chǎn)品的每一步光路進行精確計算,保證一切不可修改并可重復(fù)執(zhí)行的數(shù)據(jù)上報數(shù)據(jù),精密光學儀器的工作原理主要是通過光學儀器的光學原理實現(xiàn)的。光學儀器經(jīng)受適當?shù)姆瓷涔夂头瓷浣?獲得光路模擬圖像,這些圖像是光學儀器可讀...
近年來,半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點。2019年,中美摩擦、日韓半導(dǎo)體材料爭端對全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭格局也帶來了較大的影響。在自主可控發(fā)展策略指導(dǎo)下、在資本與相關(guān)配套政策扶植下,中國大陸正在也必將成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擴張寶地,未來幾年...
高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非...
通常,參數(shù)測試系統(tǒng)將電流或電壓輸入被測器件(DUT),然后測量該器件對于此輸入信號的響應(yīng)。這些信號的路徑為:從測試儀通過電纜束至測試頭,再通過測試頭至探針卡,然后通過探針至芯片上的焊點,到達被測器件,并后沿原路徑返回測試儀器。如果獲得的結(jié)果不盡如人意,問題可能...
探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針...
初TI退休工程師杰克·基比(JackSt.ClairKilby)發(fā)明顆單石集成電路,為現(xiàn)代半導(dǎo)體領(lǐng)域奠定基礎(chǔ)時,晶圓直徑不過1.25英寸~2英寸之間,生產(chǎn)過程多以人工方式進行。隨著6英寸、8英寸晶圓的誕生,Align/Load的校準工作和一些進階檢測也開始自動...
為什么要射頻探測?由于器件小形化及高頻譜的應(yīng)用,電路尺寸不斷縮小,類似微帶線及PCB版本Pad的測試沒有物理接口,使得儀表本身無法與待測物進行直接連接,如果人為的焊接射頻接口難免會引入不確定的誤差,所以射頻探針的使用完美的解決了這個問題。射頻探頭和校準基板允許...
探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,探針臂...