真空離子蒸發(fā)鍍膜機(jī)原理:通過(guò)加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái),并沉降在基片表面形成薄膜。磁控濺射鍍膜機(jī)原理:利用電子或高能粒子轟擊靶材,使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái),并沉積在基片表面形成薄膜。分類:包括直流磁控濺射、射頻磁控濺射、平衡磁...
化學(xué)氣相沉積(CVD)原理:在化學(xué)氣相沉積過(guò)程中,需要將含有薄膜組成元素的氣態(tài)前驅(qū)體(如各種金屬有機(jī)化合物、氫化物等)引入反應(yīng)室。這些氣態(tài)前驅(qū)體在高溫、等離子體或催化劑等條件的作用下,會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)的薄膜物質(zhì),并沉積在基底表面。反應(yīng)過(guò)程中,氣態(tài)前驅(qū)體...
離子鍍機(jī): 原理與特點(diǎn):離子鍍機(jī)在鍍膜過(guò)程中引入離子轟擊,通過(guò)高能粒子碰撞改善膜層性能。該技術(shù)膜層附著力極強(qiáng),可制備超硬、耐磨涂層,繞鍍性能優(yōu)異。 優(yōu)勢(shì):適用于航空航天部件防護(hù)涂層(如DLC、TiAlN)、汽車(chē)活塞環(huán)耐磨鍍層等。可實(shí)現(xiàn)多種材料的...
沉積:氣態(tài)的靶材原子或離子在基材表面冷卻并凝結(jié),形成薄膜。這一過(guò)程中,原子或離子在基材表面重新排列組合,形成具有特定結(jié)構(gòu)和性能的薄膜。沉積過(guò)程中,氣體的種類和壓力、基材的溫度以及沉積時(shí)間等因素都會(huì)影響薄膜的結(jié)構(gòu)和性能。此外,PVD涂層鍍膜設(shè)備還具有多功能性、薄...
PVD涂層鍍膜設(shè)備的工作原理主要是在真空環(huán)境下,通過(guò)物理過(guò)程將固態(tài)材料轉(zhuǎn)化為氣態(tài),并沉積到基材表面形成薄膜。具體來(lái)說(shuō),其工作原理可以細(xì)分為以下幾個(gè)步驟: 蒸發(fā):在真空環(huán)境中,通過(guò)加熱或其他方法(如離子轟擊)將固態(tài)的靶材(即要鍍膜的材料)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)。這...
離子鍍膜機(jī):利用離子轟擊基板表面以改善涂層附著性和膜厚均勻性,適用于制備金屬、陶瓷和聚合物等材料的薄膜。蒸發(fā)鍍膜機(jī):通過(guò)加熱材料讓其蒸發(fā)并沉積在基板表面形成薄膜,包括電阻蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備等。蒸發(fā)鍍膜機(jī)操作簡(jiǎn)單、制備工藝成熟,廣泛應(yīng)用于金...
技術(shù)突破與拓展(20 世紀(jì) 60 年代 - 80 年代)到了 60 年代,隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的興起,真空鍍膜機(jī)迎來(lái)了重要的發(fā)展契機(jī)。1965 年,寬帶三層減反射系統(tǒng)研制成功,滿足了光學(xué)領(lǐng)域?qū)Ω咝阅鼙∧さ男枨?。與此同時(shí),化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)開(kāi)始應(yīng)用于硬質(zhì)合金...
蒸發(fā)鍍膜機(jī):蒸發(fā)鍍膜機(jī)運(yùn)用高溫加熱,讓鍍膜材料從固態(tài)直接轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)。加熱方式涵蓋電阻加熱、電子束加熱和高頻感應(yīng)加熱。以電阻加熱為例,當(dāng)電流通過(guò)高電阻材料,電能轉(zhuǎn)化為熱能,使鍍膜材料升溫蒸發(fā)。在真空環(huán)境中,氣態(tài)的鍍膜材料原子或分子做無(wú)規(guī)則熱運(yùn)動(dòng),向四周擴(kuò)散,...
鍍膜機(jī)的技術(shù)發(fā)展趨勢(shì): 高精度與大尺寸滿足大尺寸面板(如8K電視玻璃)和微納結(jié)構(gòu)的高精度鍍膜需求。環(huán)保與節(jié)能開(kāi)發(fā)低溫CVD、原子層沉積(ALD)等低能耗技術(shù),減少有害氣體排放。多功能集成結(jié)合光刻、刻蝕等工藝,實(shí)現(xiàn)復(fù)雜功能薄膜的一體化制備。智能化與自動(dòng)...
鍍膜機(jī)是一種廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè)的設(shè)備,其種類多樣,根據(jù)不同的分類標(biāo)準(zhǔn),可以有以下分類: 按行業(yè)分類: 光學(xué)鍍膜機(jī):主要用于光學(xué)設(shè)備、激光設(shè)備和微電子設(shè)備等的光學(xué)薄膜制備,如鏡頭真空鍍膜機(jī)、電子鍍膜機(jī)等。 卷繞鍍膜機(jī):用于包裝、防偽、電容器...
裝飾領(lǐng)域: 珠寶首飾鍍膜:在珠寶、首飾表面鍍上一層金屬或合金薄膜,如鍍銀、鍍金、鍍銠等,可以增加其光澤度和美觀度,同時(shí)提高耐磨性和耐腐蝕性。此外,還可以通過(guò)鍍膜技術(shù)實(shí)現(xiàn)各種特殊的顏色和效果,滿足不同消費(fèi)者的個(gè)性化需求。家居裝飾鍍膜:在家居用品如燈具、...
光學(xué)領(lǐng)域: 鏡頭鍍膜:在相機(jī)、攝像機(jī)、望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)鏡頭上鍍膜,可減少光線反射,增加透光率,提高成像清晰度和色彩還原度。例如,多層增透膜能使鏡頭在不同波長(zhǎng)的光線下都有較高的透光率,減少鬼影和眩光。光學(xué)濾光片:通過(guò)鍍膜技術(shù)制備各種光學(xué)濾光片,如紅外濾光片...
鍍膜機(jī)是一種用于在物體表面涂覆一層薄膜的設(shè)備,其功能多樣,廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè)。以下是鍍膜機(jī)的主要功能:防腐蝕:鍍膜機(jī)可以為金屬、陶瓷等材料表面鍍上一層防腐蝕的薄膜,這層薄膜能有效地防止材料受到氧化、腐蝕、磨損等外界因素的侵蝕,從而延長(zhǎng)材料的使用壽命。增強(qiáng)硬度:...
離子鍍膜機(jī):離子鍍膜機(jī)融合了蒸發(fā)鍍膜與濺射鍍膜的優(yōu)勢(shì)。鍍膜材料在蒸發(fā)過(guò)程中,部分原子或分子被電離成離子。這些離子在電場(chǎng)的加速作用下,以較高的能量沉積到工件表面??招年帢O離子鍍膜機(jī)通過(guò)空心陰極放電產(chǎn)生等離子體,多弧離子鍍膜機(jī)則利用弧光放電使靶材蒸發(fā)并電離,離子在...
PLD激光濺射沉積鍍膜機(jī)原理:利用高能激光束轟擊靶材,使靶材表面的物質(zhì)以原子團(tuán)或離子形式濺射出來(lái),并沉積在基片上形成薄膜。電阻蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備原理:通過(guò)電阻加熱使靶材蒸發(fā),蒸發(fā)的物質(zhì)沉積在基片上形成薄膜。電子束蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備原理:利用電子束轟擊靶材,使靶材蒸...
裝飾領(lǐng)域: 珠寶首飾鍍膜:在珠寶、首飾表面鍍上一層金屬或合金薄膜,如鍍銀、鍍金、鍍銠等,可以增加其光澤度和美觀度,同時(shí)提高耐磨性和耐腐蝕性。此外,還可以通過(guò)鍍膜技術(shù)實(shí)現(xiàn)各種特殊的顏色和效果,滿足不同消費(fèi)者的個(gè)性化需求。家居裝飾鍍膜:在家居用品如燈具、...
降低成本,提高生產(chǎn)效率: 材料利用率高:磁控濺射鍍膜機(jī)通過(guò)磁場(chǎng)約束靶材原子,材料利用率達(dá)80%-90%,遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)電鍍的50%-60%。 連續(xù)化生產(chǎn):卷繞式鍍膜機(jī)可實(shí)現(xiàn)柔性基材(如塑料薄膜)的連續(xù)鍍膜,生產(chǎn)速度達(dá)100-300 m/min,效率...
PLD激光濺射沉積鍍膜機(jī)原理:利用高能激光束轟擊靶材,使靶材表面的物質(zhì)以原子團(tuán)或離子形式濺射出來(lái),并沉積在基片上形成薄膜。電阻蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備原理:通過(guò)電阻加熱使靶材蒸發(fā),蒸發(fā)的物質(zhì)沉積在基片上形成薄膜。電子束蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備原理:利用電子束轟擊靶材,使靶材蒸...
真空度:高真空度是獲得高質(zhì)量膜層的關(guān)鍵。蒸發(fā)鍍膜一般需達(dá)到 10?3 - 10??Pa,濺射鍍膜通常需 10?? - 10??Pa。鍍膜速率:在滿足鍍膜質(zhì)量的前提下,鍍膜速率越高,生產(chǎn)效率越高。不同鍍膜方法和材料的鍍膜速率不同,如蒸發(fā)鍍膜的金屬鍍膜速率一般為 ...
輝光放電與離子轟擊:在真空腔體內(nèi)充入惰性氣體(如氬氣),施加高壓電場(chǎng)使氣體電離,形成等離子體。等離子體中的正離子(如Ar?)在電場(chǎng)作用下加速轟擊靶材表面,將靶材原子或分子濺射出來(lái)。 磁場(chǎng)約束電子運(yùn)動(dòng):通過(guò)在靶材表面施加垂直電場(chǎng)的磁場(chǎng),使電子在電場(chǎng)和磁...
輝光放電與離子轟擊:在真空腔體內(nèi)充入惰性氣體(如氬氣),施加高壓電場(chǎng)使氣體電離,形成等離子體。等離子體中的正離子(如Ar?)在電場(chǎng)作用下加速轟擊靶材表面,將靶材原子或分子濺射出來(lái)。 磁場(chǎng)約束電子運(yùn)動(dòng):通過(guò)在靶材表面施加垂直電場(chǎng)的磁場(chǎng),使電子在電場(chǎng)和磁...
真空蒸鍍機(jī)原理與特點(diǎn):真空蒸鍍機(jī)通過(guò)加熱蒸發(fā)源(如金屬或合金),使其在真空環(huán)境下氣化并沉積到基材表面。該技術(shù)工藝簡(jiǎn)單、沉積速率快、膜層純度較高,但附著力較弱,繞鍍性差。優(yōu)勢(shì):適用于光學(xué)鏡片反射膜、包裝材料阻隔膜、OLED顯示電極鍍層等。成本較低,尤其適用于低熔...
化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī):化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī)依靠氣態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在高溫、低壓環(huán)境下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)產(chǎn)物并沉積在工件表面。不同類型的化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī),反應(yīng)條件有所不同。常壓化學(xué)氣相沉積在常壓下進(jìn)行,設(shè)備簡(jiǎn)單;低壓化學(xué)氣相沉積在低壓環(huán)境中,能獲得高質(zhì)量薄膜;等離子...
提高導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性:對(duì)于一些需要良好導(dǎo)電或?qū)嵝阅艿牟牧?,鍍膜機(jī)可以在其表面鍍上金屬膜層,從而提高其導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性能。這一功能在電子器件和散熱器等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。增加美觀性:鍍膜處理還可以使產(chǎn)品表面呈現(xiàn)出金屬質(zhì)感或豐富的顏色效果,提升產(chǎn)品的觀賞性和裝飾效果。...
真空腔室材質(zhì):不銹鋼(耐腐蝕、易清潔),內(nèi)壁拋光以減少薄膜沉積死角。配置: 靶材組件:多個(gè)電弧靶(可旋轉(zhuǎn)或固定),靶材材質(zhì)根據(jù)膜層需求選擇(如鈦、鉻、鋯、不銹鋼等)。 工件架:可旋轉(zhuǎn)或行星運(yùn)動(dòng),確保工件表面均勻受鍍(公轉(zhuǎn) + 自轉(zhuǎn))。 進(jìn)...
航空航天領(lǐng)域: 飛行器零部件鍍膜:在航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片、渦輪盤(pán)等零部件表面鍍膜,可以提高其耐高溫、抗氧化、抗腐蝕性能,延長(zhǎng)零部件的使用壽命。例如,在發(fā)動(dòng)機(jī)葉片表面鍍上熱障涂層,可以有效降低葉片的工作溫度,提高發(fā)動(dòng)機(jī)的效率和可靠性。光學(xué)部件鍍膜:航空航天領(lǐng)...
光學(xué)領(lǐng)域: 鏡頭鍍膜:在相機(jī)、攝像機(jī)、望遠(yuǎn)鏡等光學(xué)鏡頭上鍍膜,可減少光線反射,增加透光率,提高成像清晰度和色彩還原度。例如,多層增透膜能使鏡頭在不同波長(zhǎng)的光線下都有較高的透光率,減少鬼影和眩光。光學(xué)濾光片:通過(guò)鍍膜技術(shù)制備各種光學(xué)濾光片,如紅外濾光片...
早期探索(19 世紀(jì) - 20 世紀(jì)初)19 世紀(jì),真空鍍膜尚處于探索和預(yù)研發(fā)階段。1839 年,電弧蒸發(fā)研究開(kāi)啟,這是對(duì)鍍膜材料氣化方式的初步嘗試,為后續(xù)發(fā)展奠定基礎(chǔ)。1852 年,科學(xué)家們將目光投向真空濺射鍍膜,開(kāi)始探究利用離子轟擊使材料沉積的可能性。18...
鍍膜機(jī)的組件: 真空系統(tǒng)提供高真空環(huán)境(通常為10?3至10?? Pa),防止薄膜材料氧化或污染。鍍膜源蒸發(fā)源(電阻加熱、電子束加熱)、濺射靶材、化學(xué)前驅(qū)體供應(yīng)裝置等?;膴A具固定和旋轉(zhuǎn)基材,確保薄膜均勻性??刂葡到y(tǒng)監(jiān)控和調(diào)節(jié)真空度、溫度、沉積速率等...
提高導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性:對(duì)于一些需要良好導(dǎo)電或?qū)嵝阅艿牟牧?,鍍膜機(jī)可以在其表面鍍上金屬膜層,從而提高其導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性能。這一功能在電子器件和散熱器等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。增加美觀性:鍍膜處理還可以使產(chǎn)品表面呈現(xiàn)出金屬質(zhì)感或豐富的顏色效果,提升產(chǎn)品的觀賞性和裝飾效果。...