隨著技術進步,MEMS正朝著更高集成度、多功能化和智能化方向發(fā)展。例如,將MEMS與納米技術結合(NEMS),可制造更敏感的傳感器;新材料(如氮化鋁、碳化硅)的引入提升了器件耐高溫和抗腐蝕性能。此外,MEMS與人工智能(AI)的結合催生了“智能傳感器”,能夠?qū)?..
8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線,配套激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機等一整套前沿技術設備,由此,啟樸芯微具備為客戶提供質(zhì)量產(chǎn)品服務的能力,百級/萬級室內(nèi)MEMS加工無菌車間和微納加工實驗室,賦予啟樸芯微強大的**加工與測試能力,兼容8/6/4英寸晶圓級微納加工...