探針臺(tái)的作用是什么?探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測試...
12英寸晶圓在結(jié)構(gòu)上具有更高的效率,以200mm工藝為例,在良率100%的情況下,可出88個(gè)完整的晶粒,理論上因方塊切割所造成的邊緣浪費(fèi)率為23%(約有20個(gè)晶粒因缺角破損而無法使用);而若以300mm工藝進(jìn)行切割,則產(chǎn)出效率將更驚人,可產(chǎn)出193個(gè)完整的晶粒...
探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針...
光學(xué)平臺(tái)的隔振性能取決于臺(tái)面本身和支架的隔振性能,總體上說,光學(xué)平臺(tái)的隔振,通過三個(gè)方面來實(shí)現(xiàn):隔振支架:通常來說,氣浮式隔振支架性能優(yōu)于阻尼式隔振支架,部分性能優(yōu)異的隔振支架可以將外界振動(dòng)(常見10~200Hz)減少一至兩個(gè)數(shù)量級臺(tái)面物理性能:要求臺(tái)面有一定...
探針臺(tái)是用于檢測每片晶圓上各個(gè)芯片電信號,保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。下面我們來了解下利用探針臺(tái)進(jìn)行在片測試的一些相關(guān)問題,首先為什么需要進(jìn)行在片測試?因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅埽皇欠庋b以后的,雖然可以去嵌,但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性。因?yàn)槲?..
光學(xué)平臺(tái)重要的作用是提供動(dòng)態(tài)剛度,光路的穩(wěn)定性主要受桌面長軸方向上點(diǎn)對點(diǎn)的相對運(yùn)動(dòng)影響。這些相對運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生于桌面上搭建的設(shè)備、空氣調(diào)節(jié)(HVAC)系統(tǒng)以及其他聲音來源。削減這些振動(dòng)的佳方案是在來源處即行隔絕,比如在設(shè)備與桌面間放置柔性墊、為排氣管增加擋板或使用隔...
探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針...
氣墊式隔振支架是利用氣墊的原理,將光學(xué)平臺(tái)架在氣墊上以達(dá)到隔振的效果。特點(diǎn)是:隔振效果好。但是造價(jià)較高,使用和維護(hù)繁瑣。針對維護(hù)繁瑣的情況又出現(xiàn)了自平衡(主動(dòng)隔振)系統(tǒng)。原理是利用各種傳感器提供的平臺(tái)平衡狀況,通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)各個(gè)隔振支撐的氣壓來達(dá)到平衡的目的...
光學(xué)平臺(tái)實(shí)芯理化板:沒有特殊要求的普通物理實(shí)驗(yàn)臺(tái)可以使用實(shí)芯理化板來作為臺(tái)面,但是要注意保養(yǎng),并且不可以使用尖利的物品劃擦,三聚氰胺板也可以作為普通物理實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)臺(tái)的臺(tái)面。光學(xué)平臺(tái)石材臺(tái)面板:針對一些高溫度、高壓力、高磨損的物理實(shí)驗(yàn),石材類的物理實(shí)驗(yàn)臺(tái)面比較有...
探針臺(tái)由哪些部分組成?樣品臺(tái)(載物臺(tái)):是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計(jì)大小,并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能。光學(xué)元件:這個(gè)部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物,以便精確地將探針尖銳端對準(zhǔn)并放置在待測晶圓/芯片的測量點(diǎn)上。有的采用...
氣浮光學(xué)平臺(tái)的功能有哪些?它主要根據(jù)太陽或地球上大氣分子在地表受到太陽輻射時(shí)太陽光或地面通過大氣光學(xué)反射折射到人眼后,在固定時(shí)間段太陽出現(xiàn)在前面三十幾分鐘就光臨地球的大氣光學(xué)性質(zhì),設(shè)計(jì)制作出大氣光學(xué)氣浮系統(tǒng)??筛鶕?jù)太陽或地球上大氣分子產(chǎn)生大氣層厚度等條件,設(shè)計(jì)...
探針治具的校準(zhǔn):我們希望校準(zhǔn)過程盡可能的把測試網(wǎng)絡(luò)中除DUT外所有的誤差項(xiàng)全部校準(zhǔn)掉,當(dāng)使用探針夾具的方式進(jìn)行操作有兩種校準(zhǔn)方法:1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進(jìn)行校準(zhǔn),然后通過加載探針S2P文檔的方式進(jìn)行補(bǔ)償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準(zhǔn)板在探...
其實(shí),在我們的身邊隨處都可以看到半導(dǎo)體的身影。例如你的電腦、電視,智能手機(jī),亦或是汽車等。半導(dǎo)體像人類大腦一樣,擔(dān)當(dāng)著記憶數(shù)據(jù),計(jì)算數(shù)值的功能。探針臺(tái)從操作上來區(qū)分有手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)從功能上來區(qū)分有高溫探針臺(tái),低溫探針臺(tái),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾...
探針臺(tái)市場逐年增長:半導(dǎo)體測試對于良率和品質(zhì)控制至關(guān)重要,是必不可少的環(huán)節(jié),主要涉及兩種測試(CP測試、FT測試等)、三種設(shè)備(探針臺(tái)、測試機(jī)、分選機(jī)等)。根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)線投資配置規(guī)律,測試設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備投資的占比約為8%,次于晶圓制造裝備,其中測試機(jī)、分選機(jī)...
探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,探針臂...
平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái):平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺(tái),動(dòng)子和定子間有一層氣墊,動(dòng)子浮于氣墊上,而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái),由于動(dòng)子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而...
夾心光學(xué)平板主要是由帶磁不銹鋼(不銹鐵)及填充材料組成(目前使用Z多的填充材料是蜂窩巢結(jié)構(gòu)材料及型鋼框架結(jié)構(gòu))。特點(diǎn)是:固有頻率低,吸振性能強(qiáng)。光學(xué)平臺(tái)支架按其隔振形式主要分為:機(jī)械式隔振支架與氣墊式隔振支架。機(jī)械式隔振支架主要是利用各種隔振材料(如:減震彈簧...
光學(xué)平臺(tái)測量方法:使用脈沖錘對平臺(tái)或面包板的表面施加一個(gè)已測量的外力,并將一個(gè)傳感器貼合在平臺(tái)或面包板表面對合成振動(dòng)進(jìn)行測量。探測器發(fā)出的信號通過分析儀進(jìn)行讀取,并用于產(chǎn)生頻率響應(yīng)譜(即柔量曲線)。在光學(xué)平臺(tái)的研發(fā)過程中,對平臺(tái)表面上很多點(diǎn)的柔量曲線進(jìn)行記錄;...
取樣長度若取0.25mm時(shí),精密及超精密加工表面的表面粗糙度Ra>0.02~0.1μm;當(dāng)取樣長度取0.8mm時(shí),普通精加工表面Ra>0.1~2μm。根據(jù)上述說明,取樣長度為0.8mm,表面粗糙度為0.5~0.8μm時(shí),表面加工精度屬于一般水平。勤確的光學(xué)平臺(tái)...
光學(xué)平臺(tái)的隔振性能取決于臺(tái)面本身和支架的隔振性能,總體上說,光學(xué)平臺(tái)的隔振,通過三個(gè)方面來實(shí)現(xiàn):隔振支架:通常來說,氣浮式隔振支架性能優(yōu)于阻尼式隔振支架,部分性能優(yōu)異的隔振支架可以將外界振動(dòng)(常見10~200Hz)減少一至兩個(gè)數(shù)量級臺(tái)面物理性能:要求臺(tái)面有一定...
手動(dòng)探針臺(tái)規(guī)格描述(以實(shí)驗(yàn)室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺(tái)為例):探針臺(tái)載物臺(tái)平整度:5μm探針臺(tái)右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺(tái)左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺(tái)面8mm,并具備鎖定功能探針臺(tái)右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微...
光學(xué)平臺(tái)普遍應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無損檢測等領(lǐng)域,以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動(dòng)隔離的關(guān)鍵裝置中,其動(dòng)態(tài)力學(xué)特性的好壞直接影響試驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。儀器設(shè)備的微振動(dòng)直接影響精密儀器設(shè)備的測量精度。隨著精...
探針臺(tái)概要:晶圓探針臺(tái)是在半導(dǎo)體開發(fā)和制造過程中用于晶片電氣檢查的設(shè)備。在電氣檢查中,通過探針或探針卡向晶片上的各個(gè)設(shè)備提供來自測量儀器或測試器的測試信號,并返回來自設(shè)備的響應(yīng)信號。在這種情況下,晶片探測器用于輸送晶片并接觸設(shè)備上的預(yù)定位置。探針臺(tái)是檢測芯片的...
初TI退休工程師杰克·基比(JackSt.ClairKilby)發(fā)明顆單石集成電路,為現(xiàn)代半導(dǎo)體領(lǐng)域奠定基礎(chǔ)時(shí),晶圓直徑不過1.25英寸~2英寸之間,生產(chǎn)過程多以人工方式進(jìn)行。隨著6英寸、8英寸晶圓的誕生,Align/Load的校準(zhǔn)工作和一些進(jìn)階檢測也開始自動(dòng)...
表面粗糙度通常是評定(小型)零件表面質(zhì)量的指標(biāo),屬于微觀幾何形狀誤差。加工表面的粗糙度是加工過程中多種因素(機(jī)床刀具工件系統(tǒng)、加工方法、切削用量、冷卻潤滑液)共同作用的結(jié)果。這些因素的作用過程相當(dāng)復(fù)雜,而且是不斷變化的。所以用不同加工方法或在同樣加工方法、同樣...
探針臺(tái)是用于檢測每片晶圓上各個(gè)芯片電信號,保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。下面我們來了解下利用探針臺(tái)進(jìn)行在片測試的一些相關(guān)問題,首先為什么需要進(jìn)行在片測試?因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅?,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性。因?yàn)槲?..
阻尼:如果沒有阻尼,系統(tǒng)將在靜止前振動(dòng)很長一段時(shí)間——至少幾秒鐘。阻尼可消耗系統(tǒng)的機(jī)械能,使衰減更迅速。例如,當(dāng)音叉頂端浸入水中時(shí),振動(dòng)幾乎立即減弱。同樣,當(dāng)手指輕觸共振物塊——懸臂梁系統(tǒng)時(shí),該阻尼裝置也會(huì)迅速的消耗振動(dòng)能量。光學(xué)平臺(tái)隔振原理:光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)包括...
氣墊式隔振支架是利用氣墊的原理,將光學(xué)平臺(tái)架在氣墊上以達(dá)到隔振的效果。特點(diǎn)是:隔振效果好。但是造價(jià)較高,使用和維護(hù)繁瑣。針對維護(hù)繁瑣的情況又出現(xiàn)了自平衡(主動(dòng)隔振)系統(tǒng)。原理是利用各種傳感器提供的平臺(tái)平衡狀況,通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)各個(gè)隔振支撐的氣壓來達(dá)到平衡的目的...
預(yù)計(jì)150w可以考慮考慮中控或者頂燈的配套功率,安裝步驟也很簡單,和頂燈安裝方法基本相同,這里不再贅述,說一下安裝led的經(jīng)驗(yàn)吧,比如頂燈可以用一整塊的偏光鏡,建議是有對應(yīng)的線路的偏光鏡,大概25cm到40cm厚,一定要有回路也就是說可以引出的電路,大概功率4...
探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針...