也很難保證拖車在地磅頂部不移動。在地磅的頂部平臺中設置有兩條卡塊40,卡塊與平臺之間形成一插槽,在地磅的頂部設置有包括氣缸50和壓緊塊60的氣動夾緊機構(gòu),壓緊塊位于插槽中,氣缸的伸縮桿與壓緊塊固連。拖車的邊緣沿插槽插入后,氣缸帶動壓緊塊下行將拖車緊緊壓...
負的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征,上述氧化物膜推薦包含sio2,上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序,能夠使上述氮化物膜去除工序中發(fā)生的副反應氧化物的...
為本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,以及其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,在本實用新型其二較佳實施例中,開設于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,例如:圖4中所示的w...
如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter,mm)。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列方式。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu)...
負的值表示厚度減小。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征,上述氧化物膜推薦包含sio2,上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序,能夠使上述氮化物膜去除工序中發(fā)生的副反應氧化物的...
鋁板面蝕刻用:酸、堿都行。(鋁板是兩性材料,既能與酸反應,又能與堿反應,所以腐蝕液有的用堿性材料腐蝕,有的用酸性材料腐蝕,一般情況下,以酸性材料腐蝕的為多,堿性材料可以洗白。下好料的鋁板用棗木碳研磨,去掉油膩、劃痕,磨出啞光表面。然后用絲網(wǎng)版印上紋樣,油墨型號...
下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。圖1是實施例一中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖;圖2是實施例二中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖;圖3是實施例三中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖;圖4是實施例四中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖。具體實施方...
所述液體入口1處設有減壓閥12,所述蒸汽出口5處設有真空泵13、除霧組件3及除沫組件4,所述除霧組件3用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,所述除沫組件4用于將經(jīng)除霧組件3除霧的氣體進行除沫。含銅蝕刻液在加熱器11中進行加熱,達到閃蒸要求的溫度,輸送...
圖7:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)運作局部放大圖。圖8:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風刀裝置示意圖。圖9:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖10:本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板...
銅蝕刻液近期成為重要的微電子化學品產(chǎn)品,廣泛應用于平板顯示、LED制造及半導體制造領域。隨著新技術的不斷進步,對該蝕刻液也有了更高的要求。并且之前市場上的銅蝕刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高濃度雙氧水的情況。在此基礎上我司自主進行了無氟,無硝酸,低雙氧水濃度銅蝕...
所述硫醚系化合物推薦為選自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種。本發(fā)明的蝕刻液推薦進一步含有α-羥基羧酸和/或其鹽。所述α-羥基羧酸推薦為選自由酒石酸、蘋果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種。推薦為,所述酸的濃...
每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通,所述公共子管道501與所述下一級腔室102連通。其中,閥門開關60設置在每一子管道301上。在一些實施例中,閥門開關60設置在每一***子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中,閥...
在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請實施例提供的剝離液機臺的種結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請實施例提供的剝離...
能夠除去抗蝕劑。用本發(fā)明剝離液處理施加有抗蝕劑的基材的條件沒有特別限定,例如,可以舉出在設為10~80℃的本發(fā)明剝離液中浸漬基材1~60分鐘左右的條件、將設為10~80℃的本發(fā)明剝離液向基材噴霧1~60分鐘左右的條件。需要說明的是,浸漬時,可以搖動基材,或?qū)Ρ?..
隨著國內(nèi)電子制造產(chǎn)業(yè)和光電產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,光刻膠剝離液等電子化學品的使用量也大為増加。特別是縱觀近幾年度的光電行業(yè),風靡全球的智能手持設備、移動終端等簡直成為了光電行業(yè)的風向標:與之相關的光電領域得到了飛速的發(fā)展,鏡頭模組、濾光片、LTPS液晶顯示...
能夠增強親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。潤濕劑含有羥基,為聚乙二醇、甘油中的任意一種。下面通過具體實施例對本申請作進一步詳細說明。以下實施例對本申請進行進一步說明,不應理解為對本申請的限制。表一:兩種不同組分的剝離液配方一和配...
使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室;若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關;取出被阻塞的所述過濾器。在一些實施例中,所述若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關...
以往的光刻膠剝離液對金屬的腐蝕較大,可能進入疊層內(nèi)部造成線路減薄,藥液殘留,影響產(chǎn)品的質(zhì)量。因此有必要開發(fā)一種不會對疊層晶圓產(chǎn)生過腐蝕的光刻膠剝離液。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,既具有較高的光刻膠剝離效率,又不會對晶圓...
按照玻璃基板傳送方向從當前腔室101開始逐級由各腔室10向玻璃基板供給剝離液以進行剝離制程。剝離液從當前腔室101進入相應的存儲箱20,在剝離液的水平面超過預設高度后流入過濾器30,再經(jīng)過過濾器30的過濾將過濾后的剝離液傳送至下一級腔室102內(nèi)。其中,...
光刻膠殘留大,殘留分布不均勻,并且產(chǎn)生邊緣聚集殘留。為了能夠進一步地表示配方一和配方二之間的光刻膠殘留量對比,圖2中將多張單張檢測圖進行疊加,可以更加清楚地看出兩者之間的區(qū)別,能夠明顯地看出使用配方一的剝離液,高世代面板邊緣光刻膠殘留量大。下面列舉更多...
常在印刷電路板,液晶顯示面板,半導體集成電路等工藝制造過程中,需要通過多次圖形掩膜照射曝光及蝕刻等工序在硅晶圓或玻璃基片上形成多層精密的微電路,形成微電路之后,進一步用剝離液將涂覆在微電路保護區(qū)域上作為掩膜的光刻膠除去。比如光電TFT-LCD生產(chǎn)工...
本發(fā)明涉及剝離液技術領域:,更具體的說是涉及一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液。背景技術::電子行業(yè)飛速發(fā)展,光刻膠應用也越來越。在半導體元器件制造過程中,經(jīng)過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任...
本發(fā)明下述示例性實施例可以多種不同的形式來實施,并且不應當被解釋為只限于這里所闡述的具體實施例。應當理解的是,提供這些實施例是為了使得本發(fā)明的公開徹底且完整,并且將這些示例性具體實施例的技術方案充分傳達給本領域技術人員。如圖1所示,本發(fā)明提供的光刻膠剝...
本發(fā)明涉及半導體制造領域,特別是涉及一種用于包括但不限于半導體生產(chǎn)工藝中光刻膠去除步驟的光刻膠剝離去除方法。背景技術:光刻膠是一大類具有光敏化學作用(或?qū)﹄娮幽芰棵舾?的高分子聚合物材料,是轉(zhuǎn)移紫外曝光或電子束曝照圖案的媒介。光刻膠的也稱為光致抗蝕劑、...
從而可以在閥門開關60關閉后取下被阻塞的過濾器30進行清理并不會導致之后的下一級腔室102的剝離進程無法繼續(xù)。其中,腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級向玻璃基板分別提供剝離液;與多個腔室10分別對應連接的多個存儲箱20,各級腔室10分...
剝離液是一種通用濕電子化學品,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì),同時防止對襯底層造成破壞。剝離液是集成電路、分立器件、顯示面板、太陽能電池等生產(chǎn)濕法工藝制造的關鍵性電子化工材料,下游應用領域,但整體應用需求較低,因此市場規(guī)模偏小。剝離液...
IC去除剝離液MSDS1.產(chǎn)品屬性產(chǎn)品形式:混合溶液產(chǎn)品名稱:ANS-908產(chǎn)品功能描述:用于COG重工,使IC與玻璃無損傷分離2.組成成份化學名稱CASNo含量%(v)1-METHYL-2-PYRROLIDINONE872-50-445~90N,N-...
按照組成成分和應用工藝不同,濕電子化學品可分為通用性和功能性濕電子化學品。通用濕電子化學品以超凈高純試劑為主,一般為單組份、單功能、被大量使用的液體化學品,按照性質(zhì)劃分可分為:酸類、堿類、有機溶劑類和其他類。酸類包括氫氟酸、硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸等...
光刻膠又稱光致抗蝕劑,主要由感光樹脂、增感劑和溶劑三種成分組成。感光樹脂經(jīng)光照后,在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應,使得這種材料的物理性能,特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)曝光、顯影、刻蝕、擴散、離子注入、金屬沉積等工藝將所需的微細圖形從掩模版...
避免接觸皮膚、眼睛和衣服;存儲:密閉存放在陰涼干燥的地方8.防燥和人員保護極限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)...