RTP快速退火爐是一種廣泛應(yīng)用在IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導(dǎo)體、歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物/氮化物生長等工藝中的加熱設(shè)備,能夠在短時間內(nèi)將半導(dǎo)體材料迅速加熱到高溫,具備良好的熱均勻性。RTP快速退火爐提供了更先進(jìn)的溫度控制,可以實現(xiàn)秒...
在材料科學(xué)領(lǐng)域,聚丙烯(PP)是一種普遍使用的工程塑料,提升其性能一直是研究的重點。由于PP具有優(yōu)異的物理和機械特性以及良好的加工性能,因此在包裝、汽車、家電等多個行業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。然而,PP的表面能較低,使其在粘附、潤濕和涂覆性能方面表現(xiàn)不佳,限制了其應(yīng)用...
等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。金手指是指液晶屏與電路板或其他器件之間進(jìn)行電氣連接的重要部...
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,一種至關(guān)重要的設(shè)備便是快速退火爐。這種設(shè)備以其獨特的工作原理和高效的性能,成為了現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中不可或缺的一環(huán)??焖偻嘶馉t主要用于對半導(dǎo)體材料進(jìn)行熱處理,通過精確控制溫度和時間,實現(xiàn)對材料微觀結(jié)構(gòu)的調(diào)控和優(yōu)化??焖偻嘶馉t的設(shè)計精密而復(fù)雜,...
RTP行業(yè)應(yīng)用 氧化物、氮化物生長 硅化物合金退火 砷化鎵工藝 歐姆接觸快速合金 氧化回流 其他快速熱處理工藝 離子注入***行業(yè)領(lǐng)域: 芯片制造 生物醫(yī)學(xué) 納米技術(shù) MEMS LEDs 太陽能電池 化合物產(chǎn)業(yè) :GaAs,GaN,GaP, GaIn...
等離子體處理可以解決TPE噴漆附著困難的問題。原理是通過等離子體與材料表面發(fā)生物理化學(xué)反應(yīng),改變其化學(xué)成分和微觀結(jié)構(gòu),增加涂料與材料表面的接觸面積和附著力。TPE(熱塑性彈性體)仿生玩具之所以要進(jìn)行等離子處理,主要有以下幾個原因:提高表面附著力:TPE材料的表...
等離子體不僅能有效地處理高分子聚合物表面的有機物污垢,同時還可用于PCBA及PCB、陶瓷面板、玻璃面板,金屬面板等材質(zhì)表面有機物的精細(xì)化清潔,"它對于這些材料的表面污染物的去除、提高表面能、表面改性,從而改善后工序之鍵合或粘合工藝。下面,我們一起來認(rèn)識下等離子...
在微電子封裝領(lǐng)域,Plasma封裝等離子清洗機發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。隨著集成電路技術(shù)的不斷發(fā)展,芯片尺寸不斷縮小,對封裝過程中的表面清潔度要求也越來越高。傳統(tǒng)的濕法清洗方法難以徹底去除芯片表面的微小顆粒和有機物殘留,而Plasma封裝等離子清洗機則能夠在分子級...
快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內(nèi)部的一些缺陷,改善產(chǎn)品性能。快速退火爐采用先進(jìn)的微電腦控制系統(tǒng),采用PID閉環(huán)控制溫度,可以達(dá)到極高的控溫精度和溫度均勻性,并且可配置...
在實際測量中,液體樣品在測試過程中,經(jīng)過的時間不同擬合的變化。理想情況下,通過自動生成的基線繪制處觀圖,來獲得線性關(guān)系。根據(jù)該線坡度計算接觸角和入滲速率。此外,為了計算接觸角,除了液體表面張力和粘度值外,還需要填充粉末的毛細(xì)管半徑值。該毛細(xì)管半徑值通過測量粉末...
高溫接觸角測量儀作為這一領(lǐng)域的重要工具,其高精度和可靠性的測量能力為科研人員提供了寶貴的數(shù)據(jù)支持。高溫接觸角測量儀的設(shè)計初衷是為了解決傳統(tǒng)測量儀器在高溫環(huán)境下無法穩(wěn)定工作的問題,它通過精密的溫控系統(tǒng)和先進(jìn)的圖像處理技術(shù),實現(xiàn)了在高溫條件下對材料表面潤濕性的準(zhǔn)確...
在科研和工業(yè)領(lǐng)域,對于材料表面性能的研究日益深入,特別是對大尺寸材料表面潤濕性的評估,成為了一個重要的研究方向。為了滿足這一需求,大尺寸接觸角測量儀應(yīng)運而生。這種測量儀不僅具備傳統(tǒng)接觸角測量儀的功能,而且能夠應(yīng)對更大尺寸的樣品,為科研人員提供了更為廣闊的研究空...
接觸角測量儀是一種常用于測量液體與固體表面之間接觸角的儀器,而滾動角是指液體在固體表面滾動的角度。為了使用接觸角測量儀測試滾動角,可以按照以下步驟進(jìn)行操作:1.準(zhǔn)備樣品和測試環(huán)境首先需要準(zhǔn)備一個液體樣品,以及一個固體樣品。將液體樣品倒入接觸角測量儀的樣品池中,...
高溫接觸角測量儀是一種特殊的儀器,能夠在高溫條件下測量液滴與固體表面之間的接觸角。這種儀器在化學(xué)、材料科學(xué)、醫(yī)藥等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用,尤其是在研究高溫化學(xué)反應(yīng)和材料性能方面。高溫接觸角測量儀通常由以下幾個部分組成:高溫樣品臺、光學(xué)系統(tǒng)和液滴控制器。高溫樣品臺用于...
RTP半導(dǎo)體晶圓快速退火爐是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的特殊設(shè)備,RTP是"Rapid Thermal Processing"(快速熱處理)的縮寫。它允許在非常短的時間內(nèi)快速加熱和冷卻晶圓,以實現(xiàn)材料的特定性質(zhì)改變,通常用于提高晶體管、二極管和其他半導(dǎo)體器件的性...
接觸角與表面張力是界面科學(xué)中的兩個基本概念,它們在材料科學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)、化工、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。1. 接觸角(CA):接觸角是指在氣、液、固三相交點處所作的氣-液界面的切線,此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角,它是潤濕程度的量度,可以反映...
接觸角測量儀,主要用于測量液體對固體的接觸角,即液體對固體的浸潤性,該儀器能測量各種液體對各種材料的接觸角。該儀器對石油、印染、醫(yī)藥、噴涂、選礦等行業(yè)的科研生產(chǎn)有非常重要的作用;通過測量接觸角計算表面張力、利用接觸角來判斷材料親疏水性,以便確認(rèn)物體表面的處理效...
接觸角測量儀,主要用于測量液體對固體的接觸角,即液體對固體的浸潤性,該儀器能測量各種液體對各種材料的接觸角。該儀器對石油、印染、醫(yī)藥、噴涂、選礦等行業(yè)的科研生產(chǎn)有非常重要的作用。當(dāng)液滴自由地處于不受力場影響的空間時,由于界面張力的存在而呈圓球狀。但是,當(dāng)液滴與...
快速退火爐常用于半導(dǎo)體制造中,包括CMOS器件、光電子器件、太陽能電池、傳感器等領(lǐng)域。具體應(yīng)用如下:1.氧化層退火:用于改善氧化層的質(zhì)量和界面。2.電阻性(RTA)退火:用于調(diào)整晶體管和其他器件的電性能,例如改變電阻值。3.合金形成:用于在不同的材料之間形成合...
接觸角測量儀,主要用于測量液體對固體的接觸角,即液體對固體的浸潤性,該儀器能測量各種液體對各種材料的接觸角。該儀器對石油、印染、醫(yī)藥、噴涂、選礦等行業(yè)的科研生產(chǎn)有非常重要的作用。當(dāng)液滴自由地處于不受力場影響的空間時,由于界面張力的存在而呈圓球狀。但是,當(dāng)液滴與...
一、快速退火爐的技術(shù)特點?:1.極快的升降溫速率?升溫速率可達(dá)150–200℃/秒,降溫速率達(dá)200℃/分鐘(從1000℃降至300℃),縮短工藝周期。采用紅外鹵素?zé)艏訜幔浜襄兘鸱瓷鋵踊蚶浔诠に噷崿F(xiàn)高效熱傳導(dǎo)。?高精度溫度控制?PID閉環(huán)控制系統(tǒng)確保溫度精度...
快速退火爐要達(dá)到均溫效果,需要經(jīng)過以下幾個步驟:1. 預(yù)熱階段:在開始退火之前,快速退火爐需要先進(jìn)行預(yù)熱,以確保腔室內(nèi)溫度均勻從而實現(xiàn)控溫精細(xì)。輪預(yù)熱需要用Dummy wafer(虛擬晶圓),來確保加熱過程中載盤的均勻性。爐溫逐漸升高,避免在退火過程中出現(xiàn)溫度...
汽車儲物盒在做靜電植絨時,通常會在基材上膠前加上一層底涂,以使膠水與儲物盒的粘接性更好。采用等離子體表面處理技術(shù)來替代上膠前的上底涂工藝,不僅可以活化表面提高粘接力,而且還能降低成本,工藝更加環(huán)保。為確保汽車車燈的長期使用壽命,必須對它們進(jìn)行有效保護(hù),防止水分...
等離子清洗機(plasma cleaner)是高科技的一款表面處理設(shè)備,通過等離子體來達(dá)到表面處理的作用;獲得清洗、活化、刻蝕、涂層等多方向的應(yīng)用,解決各種行業(yè)的表面處理難題。1、等離子清洗機原理密閉的反應(yīng)腔體(真空室、真空腔體)被真空泵不斷抽氣,從1個標(biāo)準(zhǔn)大...
等離子清洗機在大規(guī)模集成電路和分立器件行業(yè)中的應(yīng)用在大規(guī)模集成電路和分立器件行業(yè)中,等離子體清洗一般應(yīng)用于以下幾個關(guān)鍵步驟中:1、去膠,用氧的等離子體對硅片進(jìn)行處理,去除光刻膠;2、金屬化前器件襯底的等離子體清洗;3、混合電路粘片前的等離子體清洗;4、鍵合前的...
在Mini LED封裝工藝中,針對不同污染物并根據(jù)基板及芯片材料的不同,采用不同的清洗工藝可以得到理想的效果,但是使用錯誤的工藝氣體方案,都會導(dǎo)致清潔效果不好甚至產(chǎn)品報廢。例如銀材料的芯片采用氧等離子工藝,則會被氧化發(fā)黑甚至報廢。一般情況下,顆粒污染物及氧化物...
芯片在引線框架基板上粘貼后,要經(jīng)過高溫使之固化。如果芯片表面存在污染物,就會影響引線與芯片及基板間的焊接效果,使鍵合不完全或粘附性差、強度低。在WB工藝前使用等離子處理,可以顯著提高其表面附著力,從而提高鍵合強度及鍵合引線的拉力均勻性,提升WB工藝質(zhì)量。在Fl...
Plasma封裝等離子清洗機作為精密制造中的關(guān)鍵設(shè)備之一,其市場需求持續(xù)增長。特別是在微電子、半導(dǎo)體、光電、航空航天等高科技領(lǐng)域,Plasma封裝等離子清洗機的應(yīng)用前景更加廣闊。據(jù)市場研究機構(gòu)預(yù)測,未來幾年內(nèi),全球Plasma封裝等離子清洗機市場將保持快速增長...
汽車儲物盒在做靜電植絨時,通常會在基材上膠前加上一層底涂,以使膠水與儲物盒的粘接性更好。采用等離子體表面處理技術(shù)來替代上膠前的上底涂工藝,不僅可以活化表面提高粘接力,而且還能降低成本,工藝更加環(huán)保。為確保汽車車燈的長期使用壽命,必須對它們進(jìn)行有效保護(hù),防止水分...
等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。金手指是指液晶屏與電路板或其他器件之間進(jìn)行電氣連接的重要部...