佑光智能半導體科技(深圳)有限公司2025-08-05
佑光智能半導體科技研發(fā)的標定模組通過機械臂、定位臺和雙識別相機系統(tǒng),可對不同晶體進行角度識別和矯正,其技術(shù)設計表明該設備應能兼容需要精密角度標定的各類晶圓,但具體兼容尺寸范圍需結(jié)合其機械臂和定位臺的物理參數(shù)進一步確認。
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