杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-07-26

使用標(biāo)準(zhǔn)樣件進(jìn)行三維校準(zhǔn)。選用已知尺寸的校準(zhǔn)塊（如含0.1mm深刻槽的金屬塊），通過軟件“三點(diǎn)定位法”校準(zhǔn)X/Y/Z軸。例如，校準(zhǔn)Z軸時(shí)，將探頭聚焦于刻槽底部，調(diào)整軟件參數(shù)使圖像顯示深度與實(shí)際值一致，重復(fù)3次取平均值確保精度≤±1μm。

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